真空泵油在真空泵中既是获得真空的介质，也是润滑、冷却和密封机械摩擦点的作用。

主要性能要求：

 1、极低蒸气压是真空泵油的一项重要性能。由于真空泵的真空度很高，一般采用石蜡基窄馏分润滑油。对于扩散真空泵，也可以使用硅油或其他蒸汽压很低的合成油。

2、适当的粘度和良好的粘温特性。真空泵腔容积不断变化，形成排气效果。要求润滑油具有适当的粘度和粘温特性。

3、良好的热氧化安定性，真空泵高速发展。由于滑块与泵体之间的高速摩擦，油的温度升高，油易于氧化和分解。特别是扩散泵工作在非常高温的环境中，增加了系统的蒸汽压，降低了真空度。因此，要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。

4、良好的防腐、抗乳化性能真空泵吸入腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入的空气中常含有水汽凝结物，导致真空泵油乳化，金属腐蚀，因此要求具有良好的防腐、抗乳化性能。

5、主要要求真空泵内不携带轻组分，以免影响油的饱和蒸气压。

6、下限压力，极限压力是了解真空泵在低真空极限压力下极限压力的重要性能指标